二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-A #9274821 待售

ID: 9274821
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
Coater system, 8" 1999 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W80A-A是用於光刻工藝的光刻設備。它設計得非常精確,能夠創建具有高分辨率的3D組件。該系統與許多抗蝕劑類型兼容,並帶有許多功能,使其適合各種應用。它有一個高分辨率的光學單元,由透鏡組和折光機組成,可以精確定位和成像光刻膠到基板上。該工具還使用微閥調節光刻膠的流動,而數字伺服控制資產則確保了曝光時基板的精確位移。此外,基板的位置以及鏡頭組的運動由線掃描CCD相機和X-Y級監控。DNS SD-W80A-A可以使用多種光刻膠供應系統,如墨盒、DIAS和CDM技術。它還具有獨特的「Close-Loop」模型,用於控制基板溫度和光刻膠的數量。這有助於控制整個光致抗蝕劑過程中的暴露劑量,確保一致和準確的結果。光敏設備具有集成的激光曝光機制。這允許產生精確的圖案結構,如線條和孔,也有助於優化整體分辨率。此外,該系統提供無掩碼的直接寫入,也可用於具有較大抵抗面積的晶圓投影。DAINIPPON SDW-80A-A還提供了易於使用的圖形用戶界面。這允許用戶輕松控制進程,快速設置實驗,並使用晶圓視圖窗口修改參數。這有助於最大限度地提高流程的生產效率和準確性。總體而言,SD-W80A-A是一種先進的光刻裝置,具有許多優化光刻工藝的特點.該機器堅固而精確,非常適合各種光刻應用。
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