二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVP #293705458 待售
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DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVP是為晶圓加工而設計的高速光刻塗層設備。該系統能夠在單層中塗層從0.1µm厚到3mm，在兩層光刻膠中塗層到4.0mm。這使得該單元適用於半導體器件制造、傳感器、MEMS器件等廣泛的應用。該機由模塊化機械框架、光刻機、高精度噴嘴、多軸伺服控制轉盤、控制系統和晶片架組成。機械框架可確保大面積的高精度,轉盤可移動晶片支架,從而實現任何方向的精確塗層運動。此外,該控制工具還通過各種分辨率提供精確且可重復的多軸運動,從而實現了精確的塗層控制。光刻膠分發器基於鏈條和氣動資產運行，可以同時向噴嘴中註入多種光刻膠，允許多層。這有助於提高塗層工藝的速度,同時最大限度地減少浪費。分發器還可容納多達八個光刻膠罐，以便在應用程序之間進行快速和輕松的更改。精密噴嘴的設計可提供一致的覆蓋範圍、最小的缺陷和出色的整個晶圓層均勻性。它還旨在確保低湍流，這有助於防止特征缺陷和光聲發射。噴嘴高度可調，可用於設置多種塗層參數，包括圖樣和光刻膠粘度。DNS SDW-80A-AVP是一種可靠高效的光刻塗層模型，適用於廣泛的晶圓制造應用。該設備性能優異,能夠在短時間內提供可重復的高質量結果。該系統具有高速度、精確度和多功能性,是任何晶圓處理需求的絕佳選擇。
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