二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVP #293714049 待售

ID: 293714049
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
(3) Developer systems, 8" 1996 vintage.
DNS Screen DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVP是為創建高度復雜的觸點和金屬膜而設計的光刻設備。它使用專門的曝光和化學技術在晶片上應用光刻膠,以形成接觸特征或銅金屬化圖樣,具有更高的精度和可靠性。該系統采用深紫外光刻技術優化光學成像,分辨率可達0.15 μ m。它能夠存儲多達125種各種抗蝕劑和化學化學成分的配方,以便於實施不同的工藝,從而可以優化設備的工作參數,以產生復雜的特性。DNS SDW-80A-AVP還配備了先進的對準機,采用低倍率光學顯微鏡,保證光掩模和晶圓的穩定、精確對準。它甚至能夠在相交模式形成過程中監視特征內或兩條線之間的接觸對齊。為了增加安全性,此工具具有安全保護裝置-安全資產,可防止晶圓過度暴露於光線中而造成損壞。光刻膠模型的設計包括幾個特點,以確保最低限度的維護和可靠的操作。Toner Plate清潔器由一個自動清潔紡紗板的無刷電機驅動盤和一個循環設備交換碳粉液體以嚴格控制清潔化學的純度組成。系統的窗玻璃還集成了Advanced Coating Film (ACF)過濾器,確保沒有尖銳的顆粒能夠進入腔室。光刻裝置的腔室采用低壓電離器,帶有特殊的無塵防靜電噴嘴,通過保持穩定的-25kV電壓保持內部無塵。還使用集成的負載鎖定室和加工室,以提高吞吐量和減少汙染。總體而言,DAINIPPON Screen DAINIPPON SD W80A AVP是一種有效的光刻機,設計用於在維護和停機時間最短的情況下產生精確的接觸和金屬化模式。其先進的成像系統、穩定的對準工具和特殊的無塵功能使其成為精密應用的理想選擇。
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