二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVP #293760414 待售
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DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVP是一種光阻設備,能夠處理高分辨率光阻制圖任務。它是一個多功能系統,包括曝光、曝光後烘烤(PEB),以及應用曝光後烘烤(PEC)來創建或細化模式。DNS SDW-80A-AVP是一種多用途的光刻裝置,允許對陣列制作過程進行特殊控制。它具有高重復率和高光束功率的固態激光器,使高分辨率的圖樣具有準確性和可重復性。該機還具有用於精確曝光控制的高性能低壓曝光監控器和用於曝光後烘烤(PEC)工藝的可編程控制器。它能夠處理各種光敏材料和基材。可用的工藝氣體混合物可以調整以控制暴露過程中的溫度和壓力,使工具能夠處理廣泛的抗蝕劑類型、基板和特征尺寸。資產還具有一個集成的冷卻單元,確保在暴露過程中對敏感的抗蝕劑材料進行有效的熱管理。DAINIPPON SD W80A AVP允許精確的暴露控制,並對劑量進行高度控制。這樣就可以創建小的光刻膠線條和其他形狀,分辨率非常好。暴露監測儀可以精確控制劑量,即使在較低劑量下也是如此,而PEC工藝的集成可以實現高效、高產的模式性能。此模型的操作簡單直觀,非常適合原型設計任務和生產運行。內置液晶顯示屏允許對曝光過程設置進行視覺反饋,包括激光和氣體混合參數、基板尺寸和方向,以及曝光前和曝光後過程的曝光時間。DNS/DAINIPPON SD W80A AVP是一種堅固、經濟高效的光阻設備,可確保卓越的陣列性能和產量,滿足最苛刻的生產要求。它的多功能性、精確的控制和可靠的操作使其成為任何光刻膠圖案應用的絕佳選擇。
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