二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9274815 待售

ID: 9274815
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Coater system, 8" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQ是一種光刻設備,專為開發高精度的精密圖案曲面而設計。該系統以直接成像工藝為基礎,使用光敏化合物,稱為光致抗蝕劑,以便在基板上創建所需的圖樣。該單元由一個LED曝光單元、一個用於保存樣品的真空卡盤和一個控制單元組成。LED曝光單元由一個LED陣列組成,該LED陣列的最大輸出4800mW與鏡頭機耦合。該工具采用高分辨率、高功率陣列和多種電源設置,可精確控制曝光時間。真空卡盤有一個半徑為250毫米的扁平底座,這樣可以在成像過程中將樣品牢固地固定到位。一旦樣品到位,控制單元就可以用來設置曝光設置和控制LED陣列的輸出。資產中使用的光致抗蝕劑含有一個單體,當暴露於LED發出的光時,會經歷光聚過程。這個過程在底物表面形成一個不溶性的聚合物膜,產生所需的圖樣。該模型為曝光後烘烤提供了廣泛的設置,允許精確控制聚合過程。DNS SD W80A AVQ是那些需要創建高精度、精確陣列化曲面的人的理想設備。其高分辨率LED陣列和控制系統使其容易產生準確一致的模式,而其廣泛的曝光後Bake設置讓用戶可以調整光聚合過程。因此,在創建復雜、精細的曲面時,該單元是使用光刻膠的絕佳選擇。
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