二手 DNS / DAINIPPON SD-W80A-AVQ #9373065 待售

ID: 9373065
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Polyimide developer, 8" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-W80A-AVQ是為光刻制圖設計的光刻設備。它是光掩模的全場對準系統,由157 nm DUV(深紫外線)激光器組成,能夠對多層介電層和導電層進行圖樣繪制。采用步進電機技術,實現了臨界對準和曝光的高精度、高精度。這一單元提供卓越的質量和先進的功能,如先進的激光掃描機,曝光焦點伺服控制工具,真空卡盤和大分辨率的光掩模。該資產能夠產生各種模式,如石英/玻璃、銀、氧化物和ITO層。它使用短波長157 nm的DUV光源將光掩模直接暴露在晶圓上。這種短波長提供了更高分辨率的基板,用於產生更復雜的遮罩圖樣。模型有一個真空卡盤,在曝光時保持著光掩模。它使用步進電機技術對卡盤上的光掩模進行精確對準,並將其精確定位以進行曝光。這項技術有助於確保在每個晶片上都能準確放置多個層次的圖樣,從而產生與生產環境中生產的圖樣相當的光刻圖樣。該設備還提供卓越的圖像保真度和可重復性。這是通過使用先進的曝光控制系統和聚焦伺服來實現的,這有助於確保曝光在多次曝光時均勻且可重復。DNS SD W80A AVQ是一種可靠而強大的光刻裝置,它提供了卓越的精度和精確度,可創建多層次的光刻圖案,並具有更高的保真度和重復性。它非常適合在半導體制圖和高級RSFV光刻中的先進光刻應用。
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