二手 DNS / DAINIPPON SDW-636-CV #9068905 待售

DNS / DAINIPPON SDW-636-CV
ID: 9068905
晶圓大小: 5" to 6"
Coaters / developers, 5"-6".
DNS/DAINIPPON SDW-636-CV是設計用於先進光刻應用的光刻設備。它是溶劑中高分辨率、快幹光致抗蝕劑的溶液。它具有高分辨率和優越的輪廓特性,對基材具有良好的附著力.該系統具有較高的光速和較低的吸收率,非常適合較不耗時的圖樣制作。該單元由一種光敏聚合物組成,當暴露在光下時,它會在基板上蝕刻圖樣。這臺機器有兩個組件:光刻膠溶液和顯影劑溶液.光致抗蝕劑溶液與溶劑混合,然後塗在基材上。利用自旋塗層或噴塗塗層將現成的光刻膠溶液塗在基板上。根據要在基板上蝕刻的圖樣,在基板上使用遮罩來保護基板免受光線照射。塗層後,基板暴露於高強度的光,如來自汞弧燈的光。光致抗蝕劑在暴露於光的地方聚合,從而形成蝕刻面膜。然後將顯影劑溶液應用於基板上,以去除在曝光過程中保持透明的光致抗蝕劑,並留下蝕刻圖案。這種基於溶劑的工具的優點是能夠在一個步驟中蝕刻復雜形狀。DupontDNS化學鑄件SDW-636-CV的粘附性能優越,適合在受約束或移動基質中蝕刻小特征。該資產適用於與光刻膠和顯影劑溶液兼容的各種材料,如玻璃、矽片、氧化鋁和石英。DAINIPPON SDW-636-CV提供了出色的工藝控制,能夠在具有相同曝光參數的基板上實現模式的重現性。這使其成為集成電路制造等特征敏感行業的理想選擇。總之,SDW-636-CV是先進光刻應用的可靠、通用的解決方案。具有良好的粘附性能和優異的分辨率和輪廓特性.該模型非常適合對時間敏感的應用程序以及對特征敏感的行業。
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