二手 DNS / DAINIPPON SK-200 #9256669 待售
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DNS/DAINIPPON SK-200光刻設備是一種高性能成像系統，設計用於光掩模和晶圓制造市場。它是一個兩步圖像傳遞單元，結合了中和的純幾何光束傳遞機和用於光刻塗層的氣相沈積方法。DNS SK-200的圖像傳遞工具使用了一束中和的強烈紫外線，立即將掩模圖案的原始幾何形狀傳遞給晶圓而不會失真。光束傳遞資產還采用場內和場間控制的方法來實現均勻的圖像質量，而不考慮遮罩圖案大小。氣相沈積法允許在晶片表面上均勻塗覆光致抗蝕劑，而不會過度或不足暴露。這提供了一個一致的光阻塗層在整個晶片表面，即使是復雜的圖案設計。光致抗蝕劑覆蓋的晶片隨後被暴露在高強度的紫外線激光束下，並在整個晶片中達到均勻的曝光深度。DAINIPPON SK-200能夠實現最高質量圖像的亞微米模式精確分辨率,適用於包括多層和光掩模在內的所有基板。它的晶圓尺寸範圍從2「到12」，設計用於從實驗室到生產設置的各種環境。SK-200是光掩模和晶圓制造的絕佳成像模型。它將中和光束傳遞與氣相沈積法相結合，可確保均勻的圖像質量和精確的分辨率。它非常適合實驗室和生產應用,並具有便於自動化和最大限度地提高吞吐量的功能。
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