二手 DNS / DAINIPPON SK-200W-AVP #293821343 待售

DNS/DAINIPPON SK-200W-AVP光刻設備是一種用於半導體制造的切割邊緣光刻技術。這種光刻膠系統能夠沈積分辨率超過200nm的圖像。該設備的曝光場大小為200 x 200mm2,具有可定制的模塊化平臺,可滿足各種生產要求。該機由一個帶有外部水箱和泵的供應單元、一個帶噴霧器的光刻塗料單元和一個旋轉站單元組成。UV照明源使用高端LED進行圖像生成。圖樣特征可以在基板表面上使用特殊光學元件和標線面罩形成。抗蝕劑從LED源暴露在這種圖樣化的光源中,圖樣在基板上形成。DNS SK-200W-AVP光致抗蝕劑工具提供厚度在0.2micron到10micron之間的均勻抗蝕劑沈積。該資產還采用免費維護設計,使用時間為30,000分鐘。利用一種稱為微高級脈沖背景光（Micro Advanced Pulsed Background Light，簡稱MAPBL）的特性，在陣列制作過程中提供更好的精度和分辨率。該功能使用從單點源發出的低背景光。此MAPBL有助於最小化接近效果,並在各種結構中實現更高的分辨率。該模型還具有先進的流量控制軟件，可根據基板尺寸和形狀監測和調整噴霧速率。DAINIPPON SK-200W-AVP光致抗蝕劑設備通過其自動清洗和噴霧清洗程序確保光致抗蝕劑的清潔和精確去除和沈積。此外，該系統還配備了液位報警器和泄漏探測器等先進的安全功能，以保護用戶和環境。該單元還得到高級分析和實時診斷的支持,以實現可追蹤性和更好的產品質量。光刻機具有先進SK-200W-AVP性能,是一種可靠高效的半導體制造設備.