二手 DNS / DAINIPPON SK-60A-BVP #195914 待售
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DNS/DAINIPPON SK-60A-BVP光刻設備是為大容量處理能力而設計的先進光刻系統。它是一種單晶片工具,能夠處理石英、矽、玻璃等一系列基材。該裝置采用高度復雜的PECVD(等離子體增強型化學氣相沈積)工藝和雙曝光技術。雙曝光法允許以不同角度同時曝光兩個不同的光刻膠層。這使得效率提高,蝕刻特性更加均勻。DNS SK-60A-BVP利用磁懸浮旋轉器和自動裝載器改進基板控制。它采用高性能、100kHz的激光束,以提高成像和書寫的精度。該機器利用各種先進的成像光學器件,最大光子曝光能量可達600W。它的腔室利用無壓環境和單獨的工具來冷卻腔室和基板。DAINIPPON SK-60A-BVP具有可變可編程快門優化功能,可實現精確的蝕刻模式並提高吞吐量。它還能夠產生多種特性,包括接觸和非接觸孔圖樣、角光刻和曝光校正。該資產還具有先進的熱點檢測模型,使其能夠檢測光刻膠中的缺陷區域,從而提高產量,減少缺陷。此外,該設備還配備了先進的伺服控制系統,以提高精確度而不是多重曝光過程,並允許實施復雜的幾何形狀。SK-60A-BVP是一個高度用戶友好的單元,具有直觀的GUI和易於使用的軟件。其內置的安全功能有助於確保人員和設備的保護。它是多種行業的理想解決方案,包括半導體、醫療設備、印刷電路板和MEMS技術。高速度、高精度、高精度,是高容量應用的絕佳選擇.
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