二手 DNS / DAINIPPON SK-80A #293636205 待售

DNS / DAINIPPON SK-80A
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SK-80A
ID: 293636205
晶圓大小: 8"
(2) Coater / Developer systems, 8".
DNS/DAINIPPON SK-80A是一種最先進的光刻膠設備,旨在提供光刻膠和墊片材料的精確曝光。該系統具有穩定的數字掃描機制和石英微米的精確復制功能,即使在最薄的基板上也是如此。該單元可用於曝光0.5至600 µm的光刻膠和間隔材料。集成的高分辨率數字掃描可補償由於基板扭曲或地形變化而產生的任何潛在暴露缺陷。該機配備了65英寸的顯示器和直觀的用戶界面,具有可自定義的菜單和曝光設置。顯示器的預覽功能允許實時監控曝光時間和強度,從而實現快速輕松的調整。此外,該工具能夠暴露有或沒有預敏的基板。與標準系統相比,DNS SK-80A的曝光周期時間短得多,從而縮短了生產時間,提高了吞吐量。DAINIPPON SK 80A還具有自動基板加載資產,具有遙控器和可編程重復曝光功能。該模型的真空輸送機設計還允許自動對基板進行毛毯到毛毯的清洗,從而消除任何潛在的汙染。曝光板具有調節基板溫度和控制曝光材料介電常數的受控溫度範圍。DAINIPPON SK-80A被證明能夠在整個暴露區域提供卓越的均勻性和準確性;這對於具有傾斜度或地形問題的薄基板和/或大基板特別重要。此外,設備內置了曝光頭的校準,確保了一系列可編程曝光設置。紫外線輻射安全功能包括自動關閉和互鎖,防止過熱和潛在的過度暴露於紫外線輻射。DNS SK 80A是光刻、濺射膜修復、抗蝕劑和間隔層應用以及電子束抗蝕劑的完美集成系統。該設備具有卓越的曝光精度、快速曝光周期時間、自動清洗和可編程設置,所有這些都使DNS/DAINIPPON SK 80A一臺適用於各種光刻膠應用的理想機器。
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