二手 DNS / DAINIPPON SK-80B #293609331 待售

DNS / DAINIPPON SK-80B
製造商
DNS / DAINIPPON
模型
SK-80B
ID: 293609331
晶圓大小: 8"
(2) Coater / (3) Developer, 8".
DNS/DAINIPPON SK-80B是一種專為半導體工業而設計的光阻設備。光致抗蝕劑是一種光敏塗層,用於將電路圖樣傳遞到矽片上。DNS SK-80B用於將光刻膠塗層塗在晶片上,也用於進一步加工。DAINIPPON SK 80B是用一個特殊的蒸汽塗層室建造的,該室覆蓋晶圓,厚度可達0.2um。它是由先進的化學氣相沈積(CVD)室系統構成的,該系統為晶片或單個組件提供均勻的塗層。CVD腔室采用多種特殊模塊分層,優化了光刻膜的尺寸、形狀和質量。在塗層過程之後,DNS/DAINIPPON SK 80B單元還包括一個精密光曝光機(LEM),可以調節傳遞到晶圓或單個元件的紫外線的劑量。SK 80B還利用了一個兩階段的開發過程,在保留暴露的抗蝕劑模式的同時,有選擇地去除光刻膠薄膜。初級發育階段將光致抗蝕劑從暴露的表面溶解,而次級階段則將剩余的抗蝕劑從未暴露的表面輕輕精確地去除。針對每個應用程序對此過程進行仔細監控和調整,以確保在生產過程的每個步驟中都能獲得最佳結果。DAINIPPON SK-80B是一種有效、可靠的半導體工業光敏應用機器。其精密的蒸氣塗層工具和兩步開發過程保證了每個應用中的均勻、準確的結果,確保最終產品的質量最高。憑借其可靠準確的性能,DNS SK 80B可以幫助任何半導體開發過程充分發揮潛力。
還沒有評論