二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #293807995 待售
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DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE是為半導體器件陣列設計的光刻設備。它被開發為下一代幹蝕刻工具，以顯著降低設備制造成本。在過程中，光致抗蝕劑材料暴露於電子束或光子中，圖樣隨後在抗蝕劑材料中發展，從而在材料中形成圖樣。DNS SK-80BW-AVPE系統由光刻應用模塊和蝕刻工藝模塊兩個主要組成部分組成。光刻膠應用模塊包括兩個主要組件：光刻膠乳劑和應用臂.光致抗蝕劑乳液通過應用臂散布在器件表面.蝕刻工藝模塊由蝕刻室和蝕刻電極兩個主要組件組成。蝕刻室在器件表面施加高壓，導致等離子體形成，並與抗蝕劑材料反應產生圖樣。與傳統的蝕刻工藝相比,DAINIPPON SK 80BW AVPE具有幾個優勢：顯著降低了材料沈積深度,縮短了加工時間,改進了陣列質量,並大大降低了成本。此外，該裝置還配備了自動消除協議和蝕刻工藝緊急關閉等綜合安全功能。此外,該機器的設計非常精確,並且具有降低設備制造成本的大容量。最後,該工具能夠同時使用50 nm以下和100 nm以下的功能大小,從而提高了設備的復雜性和性能。DNS SK 80BW AVPE是一種通用、有效的半導體器件應用解決方案。它提供了顯著的成本節約和性能改進,同時提供了安全性和準確性。
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