二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298991 待售

DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE
ID: 9298991
晶圓大小: 6"
Coater / Developer system, 6".
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE(先進真空處理設備)是一種用於生產電子和機電元件的光敏設備。該系統用於在精確和自動化的環境中生產質量組件。DNS SK-80BW-AVPE是一個單柱,4級真空塗層單元。第一階段是加工室,或稱「反應堆」,容納所有的電子元件,以及氣體饋線、泵和其他元素。第二階段是蒸發室,其中金屬或合金的薄層蒸發到晶圓或基板上。該腔室的設計目的是以最小的熱載荷提供一致的結果。第三階段是光敏沈積室,用於將一層薄薄的光敏沈積在基板上。該層隨後暴露於紫外線光源,從而觸發化學反應,蝕刻掉暴露的部分。無論這種光致抗蝕劑暴露在何處,金屬或合金的底層都保留在基板上,從而可以產生電路。第四個也是最後一個階段是等離子體增強室,用於進一步增強蝕刻過程。使用DAINIPPON SK和AVPE創建電子80BW機電元件的過程如下。首先,將基板放入加工室內,在那裏暴露於真空壓力和惰性氣體。然後利用蒸發室將一層薄薄的金屬或合金沈積到基板上。這層在光敏室中暴露於紫外線光源,然後將光敏膠烘烤一段特定的時間和溫度,以確保適當的附著力。最後,等離子體增強室進一步蝕刻掉暴露的區域,同時也提供了更平滑的地形。SK-80BW-AVPE為生產優質電子元件提供了可靠、準確和經濟高效的機器。它有助於確保整個生產過程中的一致性,同時簡化整個過程。該工具還旨在確保操作員的安全和設備的長期耐用性。
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