二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298992 待售

DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE
ID: 9298992
晶圓大小: 6"
Coater / Developer system, 6".
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE是一種高性能的光刻設備,是半導體行業的主要參與者。它能夠解決60 nm的特性,具有出色的晶片輪廓質量,不需要手動調整。其設計目的是提供最高的光刻塗層通量,作為對傳統方法的顯著改進。系統的核心是一個步進兼容的500 mm圓形旋轉器,它與一個非常堅固的夾緊單元結合在一起。這種設計允許晶片非常耐用的轉移,同時在轉移過程中保護高度脆弱的光敏塗層。該機采用高性能、精密的伺服電機進行超細加工,並利用旋轉器設計與噴嘴清洗工具一起減少顆粒汙染。SC-80BW-AVPE資產還配備了高性能的空氣排氣,用於吸塵和控制環境,去除微觀顆粒並確保優秀的晶片輪廓質量。該型號采用了最新的光刻膠應用技術和智能監控設備,以實現快速可靠的傳輸。該系統包括一個獨特的單元,用於控制流體溫度,使用精確的熱傳感器。本機確保光刻膠在理想溫度範圍內施用,在紫外線照射下達到最大精度和附著力。該工具還具有精確的激光位置檢測功能,可進一步提高資產的精度,確保在整個晶片表面均勻覆蓋光刻膠。總體而言,DNS SK-80BW-AVPE是一款高性能的下一代光刻膠機型,能夠以驚人的精度解決極微小的特性。它配備了控制流體溫度、空氣排氣和激光位置檢測的先進系統,以提供完美粘附在晶片表面的均勻塗層。這種設備是半導體行業的一大優勢,設定了光刻塗層的標準,只需最小的手動調整。
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