二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPE #9298993 待售

DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPE是一款由DNS Screen開發的深紫外（DUV）光刻設備。該系統以其集成的生產率、可靠性和準確性保持了較高的性能水平,這是半導體行業中技術驅動的應用所必需的。DNS SK-80BW-AVPE利用基於視覺的自動預曝光（AVPE）檢查單元來確保光刻工藝之前的晶圓對準準確。該機采用TTL激光二極管技術檢測邊緣和中心對準，以及鋼網缺陷檢測。此外，其電動光學變焦使其能夠同時精確調整晶圓尺寸和中心對準。檢查以500/秒的像素速率進行，這使其能夠檢測到覆蓋範圍為75毫米x 75毫米的最小微結構。DAINIPPON SK 80BW AVPE具有車載DUV照明器,可在300-340 nm的波長範圍內提供最佳劑量的DUV光,最大劑量為4 mJ/cm2。該工具還具有光化學自動化資產（PAS）,用戶可以輕松配置光刻膠配方和曝光參數。PAS還能夠存儲多達99種食譜,這使用戶能夠靈活地在一個過程中切換不同的食譜。SK-80BW-AVPE的創新設計還包括一種內部溫度控制模型，該模型無需外部冷卻器，並提供可靠、可重復的光刻性能。二氧化氯環流設備提供了改進的安全措施和經濟高效的解決方案。此外,該系統還具有許多其他功能,可提高準確性和生產率。其中包括自動劑量、可編程曝光、兩級自動混合蝕刻和多穩定液冷照明器。總體而言,DNS/DAINIPPON SK 80BW AVPE單元為需要高精度和準確性的應用提供了可靠且經濟高效的光刻膠解決方案。其高性能的特征集和全面的安全措施使其成為現代微加工工藝的理想選擇。