二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPF #9354131 待售
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ID: 9354131
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 1998
(2) Coater / (2) Developer system, 6"-8"
Hot / Chill plates (7-26)
MICROBAR TrackMate chemical cabinet
(3) Control racks
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPF是用於半導體器件制造的先進光刻設備。它結合先進的無掩碼光刻技術和尖端的光刻化學，產生優越的線條、空間和圖樣分辨率。該系統采用KrF激光直接圖像投影技術，在各種晶圓基板上實現精確可靠的光刻。這優化了常規光刻的性能,從而降低了制造成本,提高了產量,縮短了周期時間。DNS SK-80BW-AVPF光刻膠的設計提供了卓越的分辨率和線緣控制.該裝置采用先進的無機吸光器，可衰減248nm的最小激光波長，提高圖樣保真度和精度。它還具有專有的光聚合技術，在整個曝光範圍內提供更大的光強度調制。結合這些特性,可提高對比度、減少圖樣失真、減少圖像噪聲和提高尺寸精度。另一個好處是機器與各種後處理技術，如濕蝕刻和幹蝕刻兼容。這確保了所有半導體器件的制造過程都可以很容易地與DAINIPPON SK 80BW-AVPF光刻系統集成。總體而言，SK-80BW-AVPF光刻工具是需要精確線跡和邊緣控制的設備制造的理想解決方案。其擴展的分辨率能力，結合優越的光衰減，使其成為生產高質量半導體器件的高效、低成本的工藝。後處理技術的廣泛選擇使資產適合各種設備制造技術，涵蓋電子和納米技術的廣泛應用。
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