二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-AVPF #9354132 待售
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ID: 9354132
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 1997
(2) Coater / (2) Developer system, 6"-8"
Hot / Chill plates (7-25)
In-line
MICROBAR TrackMate chemical cabinet
Control rack
Interface
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-AVPF是專為先進的下一代光刻工藝而設計的高性能光刻設備。它旨在提供出色的過程控制、小特性分辨率和高性能。DNS SK-80BW-AVPF光刻膠系統由幾個組件組成。首先，它包含一個非常精確的自旋塗層，它能夠在廣泛的基材和晶圓尺寸上實現均勻的光致抗蝕劑塗層。自旋塗層采用優化設計，有效支持各種晶圓尺寸和塗層參數。這樣可以確保在整個基板上均勻地塗抹光致抗蝕劑。DAINIPPON SK 80BW-AVPF還包括一個高度精確和精細調諧的烘烤站，確保光刻膠烘烤均勻、適當。此外，烘烤站通常配置多層PEB（曝光後烘烤），以防止抗蝕劑塗層出現任何不均勻現象，降低塗層缺陷和顆粒的風險。此外，SK 80BW-AVPF單元包括高度精確的光刻曝光階段，設計用於精確對齊基板，並提供最準確精確的曝光時間和強度。這個曝光階段最大化了光刻膠層中小特徵的解析度。最後，DNS/DAINIPPON SK 80BW-AVPF包括一個專門的後開發化學加工站。這樣可以確保光刻膠得到適當的開發並從基板上適當去除，從而形成一個均勻、無缺陷的層。此外，開發後的過程消除了可能造成汙染和除氣的有害殘留物。總體而言，DAINIPPON SK-80BW-AVPF是一款先進的光刻機，旨在提供出色的工藝控制、小特性分辨率和高性能。它是用於先進的下一代光刻工藝的理想工具，可以幫助確保獲得最高質量的光刻膠層。
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