二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-BVP #9182582 待售
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ID: 9182582
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
(2) Resists coater stations
ARC Coater station
Interface to NIKON NSR S203B Scanner
DUV-Resist
Housing with FFU
FTC
(2) Microbar trackmates
Scanner interface
Power supply: 208 V, 4.0 kW, 60 Hz, 4.0 A
1997 vintage.
DNS/DAINIPPON SK-80BW-BVP是一種光刻設備,設計用於薄膜微電子器件的生產和開發。它為分辨率和關鍵尺寸提供了卓越的平版印刷性能,為設備制造提供了高質量、可靠和可重復的結構。該系統由DI-3000E直接投影對準器和SK-80BW圖像示波器組成。該DI-3000E利用最新的光學和計算機技術,實現了設備制造過程中對準的高精度和重復性。它使用基於激光的對準單元將基板與光掩模完美對齊,並使用LED確保對準完美。該機還具有先進的自動校正能力,使對準非常精確。SK-80BW圖像示波器采用寬帶激光器照射的真空光掩模,以及包含成像光學器件和光盾的特殊堆疊膜布置。光盾確保來自激光的光以受控和一致的模式反射,使高分辨率結構得以發展。該膜用於分離設備的功能組件,如AZOX層和金屬層。DI-3000E和SK-80BW圖像示波器的結合提供了出色的光刻性能,這使得該工具非常適合需要高分辨率、可靠和可重復結構的設備制造應用。憑借其先進的光學、計算機技術和光盾,該資產提供了確保可靠和一致的設備性能所需的精度和性能。它也有廣泛的應用,包括生物醫學設備、太陽能電池、傳感器和顯示材料。
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