二手 DNS / DAINIPPON SK-80BW-BVPE #9316585 待售

DNS/DAINIPPON SK-80BW-BVPE是一種主要用於集成電路制造的高性能光刻設備。該系統配備了一種專利雙噴射工藝，用於處理正負色調的光刻膠，允許優越的縱橫比控制和表面精度。該裝置的最先進的設計還包括真空輔助蝕刻和腔室控制，這有利於光刻膠的快速和準確的應用。DNS SK-80BW-BVPE機由一個濕式清潔站和一個光刻塗層工具組成，這兩個工具都集成到一個緊湊的設備中。濕式清潔站采用先進的機器人液體輸送技術，以化學和/或超聲波方式同時清除有機和無機汙染物，幹燥至無顆粒物汙染的均勻一致的表面。光敏塗層資產采用一種專利雙噴射工藝，其中光敏化學物質通過兩種不同的噴射方式輸送：一種用於陽性（PMMA），另一種用於負性（SU-8）光敏。對兩種不同的化學制劑進行精確計量，並引入裝有集成大氣等離子體發生器的腔室，以確保化學物質的均勻拍打。光致抗蝕劑的優化流動使晶片上的光致抗蝕劑層保持一致，改進了長寬比控制，提高了收率。集成的蝕刻室允許對光刻膠進行精密蝕刻，而無需額外的處理步驟。真空輔助蝕刻抗蝕劑是允許的，驅散揮發性光致抗蝕劑組件到一個單獨的腔室和提高產量。最後，DAINIPPON SK-80BW-BVPE模型提供了優越的腔室穩定性和控制性，允許均勻，可重復處理的光刻膠。綜上所述，SK-80BW-BVPE光刻設備采用了專門為集成電路制造量身定制的最先進的特性。該系統的雙噴射工藝和集成蝕刻室可實現卓越的縱橫比控制、更高的產量、更快的加工速度和更高的表面精度。光致抗蝕劑和集成等離子體發生器的優化流動提供了一致、均勻的模式，減少了浪費。總體結果是一個可靠、高性能的單元,旨在生產光刻膠以滿足當今嚴格的制造要求。