二手 DNS / DAINIPPON SK-W80A #9144966 待售

DNS/DAINIPPON SK-W80A是一種用於制造半導體晶片的光刻設備。該系統使用一種抗蝕性塗層材料，這是暴露在強烈的光線蝕刻所需的特征成晶片。這項技術來自於一種先進的光刻工藝，它涉及紫外線，將感光材料（光抗蝕劑）曝光，以定義半導體上的電路模式。該過程從一層光刻膠開始，該層被旋轉塗覆在半導體晶圓表面上。一旦自旋塗層，DNS SK-W80A然後用投影步進器發出的紫外線曝光光刻膠。在此過程中,根據所需的電路模式對光刻膠進行陣列處理。暴露在光線下的區域變得不溶解，而未暴露的區域則保持可溶性。接下來，在化學顯影劑中開發出暴露的光致抗蝕劑。這種顯影劑除去非暴露的光致抗蝕劑，同時將不溶性抗蝕劑作為覆蓋所需電路圖樣的保護層。利用蝕刻劑和金屬化等附加化學過程來完成電路模式。最後，除去光致抗蝕劑以暴露新創建的半導體圖樣。DAINIPPON SKW-80A具有許多先進的特性，使其適合制造納米級的晶片。該裝置提供高靈敏度的抗性塗層材料、高精度的曝光技術和機械化的分配機器。這確保了在塗覆和暴露半導體晶片時的精度精度。此外,它的內置對齊器允許將曝光時間降低0.1 mJ/cm2,同時提供高分辨率和卓越可重復性的優質曝光模式。這使得該工具非常適合制造具有納米級設計特性的晶片。該資產還具有先進的溫度控制，使其適用於低靈敏度Sn離子和0.75 um直徑的納米線等材料。它具有精密曝光技術等先進的工藝控制功能，模型可以在多種環境下操作，即使在極端溫度下也是如此。DNS/DAINIPPON SKW-80A還有一個內置的用於塗層抗蝕劑的工藝室,可提供一系列附加附件,以促進連續生產過程。綜上所述，DAINIPPON SK-W80A是一種能夠制造具有納米級特性的晶片的高精度光刻設備。其靈敏的耐塗層材料和先進的工藝控制特性使其適合各種生產工藝，即使在極端溫度下也是如此。其內置的對齊和分配系統可確保高分辨率和重復性的高質量暴露模式。