二手 DNS / DAINIPPON SK-W80B-AVPE #9300359 待售

DNS/DAINIPPON SK-W80B-AVPE是一種采用高精度先進真空壓印系統（AVP）的步進重復光刻設備。這個單元可以生產精確度為10和20nm的電子零件、半導體電路圖樣和光學元件，使得高分辨率材料的圖樣變得極為精確。該機采用高精度、直線電機驅動的5軸直線運動級和X-Y-Z-θ-Φ機構來掃描和對齊模式，確保更精確的曝光定位和運動學精度，可靠地降低模式失真的風險。該工具配有桌面和手動晶圓轉運站，因此晶圓可以精確地放置在舞臺上並移動到曝光站。還提供自動對齊資產,可實現精確對齊和可重復的可重復性。該模型旨在在整個生產過程中提供穩定、準確的曝光和一致的性能。它配備了高動態範圍、高精度階梯式可變形鏡設備，在包括小針狀特征在內的多種幾何特征上實現高分辨率曝光，同時也確保了準確的放置精度和均勻曝光。此外，該系統還可以支持一種氣隙填充技術，這種技術可以增加有效的光照並改善光學隔離。該單元是一臺具有多種集成特性的緊湊型高性能光刻機，包括平均寬帶激光功率為1.2W的激光二極管照明器、高精度真空壓力機、移動臺、XYZ θΦ移動機、X-Y光學編碼器和可編程曝光參數。此外，內置防振工具以確保無振動操作，內置防塵防汙結構可防止環境灰塵和顆粒進入資產。DNS SK-W80B-AVPE是一種堅固可靠的光刻模型,專為高精度處理而設計。該設備具有用戶友好的界面和易於設置的參數，以簡化光刻過程。該系統還完全符合SEMI P-14和P-19標準,是滿足復雜、高精度光刻需求的絕佳選擇。