二手 DNS / DAINIPPON SKW-629-BV #293808882 待售

DNS/DAINIPPON SKW-629-BV是為生產高精度半導體光刻應用而設計的高精度光刻設備。該系統有一個數字虹膜單元（DIS）和一個容納大型基板的9英寸級，可用於高達50 nm線路和空間的應用。數字虹膜機（DIS）為光刻膠應用提供了高精度。它由兩個部分組成：一個光源和一個控制單元.光源是一個獨立的LED源,它與步進電動機耦合,以提供LED點從中心到目標抵抗點的高精度移動。控制單元從視覺工具收集目標位置數據,並將其轉換為3D坐標,用於將LED點精確放置到抗蝕層中。這樣可以精確覆蓋光刻層上的圖樣。9英寸級支撐直徑最大為4英寸、抗蝕層較大的基板。它還具有智能邊緣檢測資產,以確保對齊精度。此模型使用邊緣輪廓信息、目標方向數據和全局照明參數來線性註冊圖層並消除任何遮擋或邊緣錯誤。該設備還提供了一些安全功能。其中包括超壓關閉、過度照明關閉和緊急電源關閉,以防止電壓波動造成潛在損壞。它還內置了檢測異常溫度、短路和其他系統異常的監控系統。DNS SKW-629-BV單元旨在為廣泛的應用提供高度精確和可重復的光刻結果。它的設計采用了高級功能,可確保高精度,並將損壞或故障的風險降至最低。適用於制造納米電子器件、集成電路、MEMS器件和傳感器等應用。