二手 DNS / DAINIPPON SP-W813 #293643045 待售

DNS/DAINIPPON SP-W813是專門為生產半導體生產中使用的光掩模和晶片而設計的先進光刻設備。該系統利用光刻技術，這是在矽片上創建集成電路和其他器件的基本工藝。光刻涉及利用光和化學過程將圖樣轉移到矽片上。此單元由幾個組件組成,這些組件協同工作以在晶圓上創建所需的陣列。DNS SP-W813由一個光源、一個掩蔽單元、一個標線級、一個物鏡、一個LED壓電發生器、一個LED對準單元和一個光刻塗層機組成。光源為LED對準單元供電,該單元將LED精確定位在標線臺上。然後將標線級裝入具有所需陣列圖像的二進制編碼掩碼。面罩然後用極紫外線（EUV）照亮，由LED壓電發生器產生。然後，EUV光通過掩模進入塗有光刻膠的晶片。在此過程中,光將所需的圖樣傳遞到晶片上。最後，開發了光致抗蝕劑，使晶片的特定區域變成固化和硬化的材料。DAINIPPON SPW-813的光刻膠開發系統允許通過其計算機控制的紫外線曝光處理精確控制開發時間。光致抗蝕劑工具暴露在LED圖樣發生器發出的EUV光下，從而激活光致抗蝕劑的光酸發生器，使光致抗蝕劑溶解在遠離指定區域的地方。SPW-813具有創建高精度和高質量晶片的眾多功能。在開發光刻膠之後，DNS SPW-813結合了一種高分辨率成像資產，允許以最小的圖像失真和粒度捕獲和分析清晰的圖像。該模型還提供了易於設置的參數，可以精確控制EUV排放，並提供了一種凹陷的光學設計，可最大限度地減少發熱元件。最後,DAINIPPON SP-W813擁有自動化程度最低的生產設備,有助於縮短處理時間並提高吞吐量。總體而言，SP-W813光刻系統配備了多種功能和組件，以提供對光刻膠開發的精確控制、對EUV發射的精確控制和精確成像技術，使用戶能夠在晶片上創建質量最高的圖像。DNS/DAINIPPON SPW-813具有這些有用的功能及其計算機控制的過程,是制造半導體生產中使用的精密光掩模和晶片的最先進的系統之一。