二手 DNS / DAINIPPON SS-80B #293658147 待售

DNS/DAINIPPON SS-80B是一種先進的光刻設備，用於在晶圓和半導體及其他微電子應用的電路上創建圖樣。該系統適用於多種基板尺寸,允許根據目標特定區域調整曝光場尺寸,並提供精確的對齊方式。該單元的核心部件是EUV Optics，它使用藍寶石晶片將13.5nm波長的光引導到晶片上，用於成像源。EUV光學器件使用光束模式對準機（BPAS）,這是一種雙光束對準工具,通過微調入射光束角度的可移動反射鏡布置來發揮作用。這種BPAS資產在對準光束時允許高精度和準確性，從而便於復雜的模式生成。DNS SS-80B還集成了多種專業功能,以提高大規模生產的工藝速度和精度。通過先進的數據分析和處理，該模型能夠優化多域曝光參數的使用，實現更高的光敏性能。此外，該設備提供單發輻照能力，通過減少特定區域的照射次數，大大縮短了制圖時間。在安全性方面，系統有幾個保護使用者的功能，例如一個液冷激光外殼以防止激光過熱，以及一個幻燈片掃描儀功能，可以快速檢測任何光束在指定區域以外發射。總體而言,DAINIPPON SS-80B是一個先進的光阻裝置,具有激光冷卻、單發照射和精確陣列等多種功能,可滿足當今快速發展的半導體行業的需求。