二手 DNS / DAINIPPON SS-W60A-AV #9314198 待售

DNS/DAINIPPON SS-W60A-AV是一種光刻設備，用於光刻，在半導體晶片上產生準確可靠的電路模式。它提供了一系列功能以確保最佳成像性能,包括提供高分辨率圖像和高通量的中紫外線（248 nm）激光源。此外，它還配備了高精度的HeNe激光曝光系統，用於在曝光期間將曝光場與晶圓位置對準。DNS SS-W60A-AV使用各種光學和光掩碼來創建高精度的抵抗材料模式。它利用圖像陣列掃描儀同步激光曝光機械性，確保精確的圖樣呈現。掃描儀配有NA=0.5的大功率鏡頭，提供重叠的圖案布局。這樣可以確保可以精確地重叠模式,以創建更復雜的模式。DAINIPPON SS-W60A-AV還利用了多種成像技術，包括RIE、PRT、SLIT和平板成像。RIE是一種反應性離子蝕刻工藝，用於蝕刻基板上的層以產生金屬電路圖樣。PRT是一種光致抗蝕劑工藝，用於通過在不同角度對晶片表面進行精細成像來精確控制抗蝕劑材料。SLIT是一種光刻技術，用於縮小粒徑以創建較小的特征，而平板成像是一種更傳統的簡單圖樣成像技術。該單元還包括一個高精度級和廣泛的其他功能，以協助精確對準和成像。這些特性包括50 nm精度級運動、傾斜補償、防爬行系統和自動快門操作機。這些特性確保了圖像的精確重叠，抵抗材料的精確控制，並且曝光場與晶圓的對準是精確的。綜上所述，SS-W60A-AV是一種高度先進的光刻工具，用於在半導體晶片上創建高度精確和可靠的圖樣。它利用多種成像技術,包括RIE、PRT、SLIT和平板成像,以及許多其他功能來確保最高成像性能和準確性。