二手 DOMINUS Opticoat ST30i #9218145 待售

DOMINUS Opticoat ST30i是為半導體制造而設計的下一代光阻設備。在廣泛的應用中,它提供了優於傳統光刻系統的性能特性。它是一個非常先進、經濟高效的解決方案,可提供出色的均勻性和均勻的線寬。Opticoat ST30i是一種高性能、低溫的抗烘烤劑，含有標準的化學擴增樹脂和化學改性樹脂。標準樹脂提供了優良的基材附著力和線形，同時保持盡可能小的線寬，以提高光刻精度。化學改性樹脂提供了比傳統抗蝕劑更好的均勻性，提供了改進的光刻產量和裝置特性。該系統還配備了一系列抗蝕劑配方能力，包括抗反射配方、接觸蝕刻面膜、抗顆粒物過濾和較厚的抗蝕劑。這種靈活性使其適合各種工藝和平版印刷需要。此外，其噴塗設備和可移動模塊提供了卓越的工藝能力和可靠性。DOMINUS Opticoat ST30i允許改善線寬和蝕刻輪廓的均勻性和關鍵尺寸控制。其廣泛的工藝窗口和改進的註冊準確度允許更大的工藝穩定性和可重復性。其低溫烘烤消除了對高溫烘烤電路的需求，從而大大節省了成本。這種抗蝕劑單元還提供了比傳統抗蝕劑廣泛的工藝優勢，如改進的光學、熱和粘附性能。其低溫烘烤顯著降低能耗和熱沖擊，而其改進的光學性能允許較低的光學配準誤差和改進的聚焦控制深度。此外，其改進的耐化學性和附著力為抗蝕層提供了更好的長期性能，使設備的運行時間更長。Opticoat ST30i是一款先進的低成本光刻機,可確保卓越的性能、可靠性和成本節約。其優越的均勻性和均勻的線寬提供了優越的光刻產量和器件特性。它還提供了廣泛的工藝優勢，包括改進的光學、熱和粘附性能。這使得DOMINUS Opticoat ST30i半導體制造的理想選擇。