二手 EATON 6000 XL #9099870 待售

EATON 6000 XL
製造商
EATON
模型
6000 XL
ID: 9099870
優質的: 1987
Coater / Developer system (3) Tracks 1987 vintage.
EATON 6000 XL是為大體積精密光刻和薄膜沈積應用而設計的光刻設備。它是一個完全自動化、經濟高效的平臺,能夠生產日益復雜的微觀結構,如集成電路、光電子和數據存儲介質。該系統獲得專利的光刻膠技術利用紫外線(UV)光在感光基板上曝光圖樣,然後開發出納米級結構。6000 XL利用精密光刻和薄膜沈積技術,這是一種精確的工藝,可通過真空裝置將由化學成分組成的薄聚物層沈積到基板上。這一過程允許用戶精確操縱聚合物層的厚度、組成和地形,並在納米級創建結構。光刻圖樣的質量取決於曝光和開發過程的吞吐量和精度。機器中使用的光致抗蝕劑材料及其層被設計為提供出色的抗蝕劑均勻性、異常低的排氣和高分辨率。該工具的一個高級功能是高性能成像資產,可實現高分辨率成像。再者,該型號的專利光刻膠配方被設計為與多種塗層兼容,如環氧樹脂、聚酰亞胺、BCB、多晶矽等材料。該設備可達到的薄膜厚度範圍從50 nm到1 µm。該系統設計用於使用各種各樣的基板,如矽、印刷電路板,甚至紡織品。它還易於操作,它使用戶能夠快速設置和優化設備,而無需特殊軟件或專業知識。使用者可以輕易控制曝光劑量、波長和曝光模式。此外,該機還能夠對敏感基板進行雙面加工和支持批處理。總體而言,EATON 6000 XL是一種用於工業和電子制造應用的可靠、經濟高效的光刻膠解決方案。該工具使用戶能夠在各種基板上精確、精確地創建高度復雜的納米級結構。其先進的成像資產和光敏材料被設計為確保高分辨率、均勻性和低除氣。
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