二手 EATON / LSI 6000 & 6000XL #29581 待售

EATON/LSI 6000&6000XL光阻系統是專門為生產半導體而設計的工業系統,如圖像傳感器、內存芯片和微處理器。光致抗蝕劑系統涉及使用光來繪制半導體的元件圖樣。該6000XL是原始6000設備的更新版本,提供了更大的工藝區域、改進的性能和更好的可擴展性。LSI 6000的設計采用了10 x 14英寸的大工藝面積，允許在單個光刻膠系統中產生多種圖案。目標的初始曝光是由數字掩碼對齊器（DMA）完成的,它將所需的光模式投射到目標基板上。該單元采用全場掃描（FFS）技術，允許更精確的圖樣基板。此技術還消除了手動調整DMA以確保準確性和一致性的需要。此外，EATON 6000可用於曝光後平滑（PES），該工藝可以平滑半導體元件的側壁，以提高性能。此外,機器還配備了自動曝光驗證（AEV）功能,可根據參考標準自動檢查曝光讀數的準確性。這有助於確保準確性和過程一致性。最後,EATON/LSI 6000XL提供了比標準6000更好的性能和可擴展性。這款升級車型配備了更大的20 x 30英寸工藝面積，改進了FFS技術，改進了用戶界面。此外,該工具還可以升級到標準的曝光後平滑過程,從而允許用戶相應地自定義其設置。總之,LSI 6000&6000XL光刻膠系統是專門為生產和制造半導體元件而設計的.與最初的6000型號相比,這些系統提供了更好的性能和可擴展性,並具有DMA、FFS和PES等多種功能。最後，升級後的型號還采用了AEV，以提高精度和工藝一致性。