二手 EATON XL622B #9180693 待售

EATON XL622B是為各種單晶半導體基板的晶片級光刻塗層而設計的高性能、高精度光刻設備。該系統的構建是為了在受控環境中提供精確和可重復性。XL622B利用液體級監測單位幫助用戶獲得具有可重復結果的高質量塗料。機器包含蒸氣分散器、液位監控器、抗熱塊和電阻測量裝置。這些組件協同工作，以創建均勻、一致和可重復的塗層厚度和光刻膠跨基板的圖案。蒸氣分散器向基板輸送精確、反應靈敏的光敏蒸氣流。這確保了光刻膠在光刻膠層中被傳送到所需的區域，而沒有較高的附著區域或較低的空隙口袋。液位監視器通過不斷測量光刻膠的厚度來幫助用戶保持一致的塗層厚度。電阻測量裝置隨後在塗層過程中監視和記錄光刻膠的電阻。這為用戶提供了有關應用光刻膠層的整體質量的信息。抗蝕劑加熱塊通過使光致抗蝕劑在晶片上均勻且可重復加熱，進一步有助於光致抗蝕劑的均勻傳遞。具有對光刻膠層進行精確、可重復測量的能力，結合一致的抗蝕劑蒸氣的精確輸送和光刻膠層的均勻加熱，使得EATON XL622B能夠創造出高質量的塗層，具有優異的重復效果。這允許用戶創建質量高、變化最小的一致晶圓級光刻膠層。