二手 EEJA / ELECTROPLATING ENGINEERS OF JAPAN Posfer-S4 #9099252 待售
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ID: 9099252
晶圓大小: 6"
Linear gold plating system, 6"
Convertible to 8"
Hardware: Cub4 storage.
EEJA Post-S4是由日本電鍍工程師(ELECTROPLATING ENGINEERS OF JAPAN)開發的光阻設備。該系統設計用於電鍍和化學工藝操作,提供可靠、準確的光刻效果。該單元提供兩種獨立的光刻膠曝光裝置,用於精確控制曝光時間和均勻性,使其適合各種光刻膠工藝。這臺機器設計用於單面和雙面的光刻過程,並允許實現高公差和高精度的光刻過程。為此,可以提供精確的溫濕度控制、獨立的壓力調節工具,以及曝光裝置的精確定位。EEJA/ELECTROPLATING ENGINEERS OF JAPAN Post-S4光致抗蝕劑資產能夠實現可重復和均勻的光致抗蝕劑結果,因為使用的光源具有統一的曝光控制和在線校準的掃描補償。這種均勻性是通過使用具有30米間距線μ光源的相片傳感器來維持的,以便準確地檢測和控制吸收率。該模型設計用於處理各種基板,從需要高度清晰度和分辨率的基板到需要最小基板改動的基板。此外,它還能夠輕松控制光刻膠的圖樣尺寸和密度,並提供一系列的曝光模式來滿足光刻膠工藝的特定需求。EEJA Post-S4光致抗蝕劑設備能夠加工各種基材,包括矽、玻璃和金屬。它確保了精確的光刻效果,最小的基板改變和汙染,使其成為精確,高公差應用的理想選擇。再者,它的自動化系統設計使得它可以方便地連接到各種制造環境和系統,從而為用戶提供高效的生產單元。
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