二手 ELS TECHNOLOGY ELS-306MA #9059475 待售

ELS TECHNOLOGY ELS-306MA 「Desmear Equipment」是由領先的光阻顯影劑開發商ELS TECHNOLOGY設計的光阻系統。光敏材料是一種用於半導體制造的光敏材料，用於提供圖樣定義。ELS-306MA Desmear Unit是一臺三合一機器,具有烘烤、曝光和開發等綜合功能,可作為光刻膠生產的綜合解決方案。該工具具有高度集成的單一工藝室,可實現最佳集成和節省空間。該工藝室是為適應光刻工藝而量身定制的，並提供了出色的處理能力，如負載鎖定技術和標準晶圓處理基板達200毫米。加工室還具有快速烘烤時間，提供1-2分鐘的範圍內烘烤樣品。此外，該腔室還具有現場光監測資產和集成衍射光柵，能夠消除參數不精確造成的線寬變化和質量問題。ELS TECHNOLOGY ELS-306MA還支持廣泛的曝光工具選項，如Quadrascan、各種激光標記源和EB Resist陣列。該機器由功能強大的軟件包支持,能夠輕松設置和定制食譜。這包括易於使用的圖形用戶界面、集成的批處理功能,以及針對50多個流程的預裝配方。此外,ELS-306MA Desmear模型具有出色的上行時間和可靠性,可確保連續且無問題的運行。設備具有超壓防護、熱監測、超流預防等綜合安全功能。它還具有自我診斷功能和集成的流程跟蹤功能,以便於監控流程。最後但並非最不重要的一點是,ELS TECHNOLOGY ELS-306MA憑借其集成的多功能、快速的處理速度和可靠的性能,提供了卓越的性價比。緊湊的設計和集成的功能也非常適合在有限的空間內生產,這意味著不需要額外的裝配或布線。