二手 ELS TECHNOLOGY ELS3604FA #293630295 待售

ELS TECHNOLOGY的ELS Technology ELS3604FA是為光電器件制造而設計的先進光刻設備.該系統由一個光刻工作站、一個掩模對準器和一個完整集成單元中的光刻裝置組成。光刻工作站包括高性能掃描儀、固定成像結構和專有的同軸微透鏡陣列,該陣列提供精確控制的光場,使復雜的設備特性能夠以亞微米特性尺寸和分辨率進行打印。掃描單元可確保快速曝光周期,並配備自動聚焦校準機。該工具的掩模對齊器提供卓越的圖像質量,並通過傳統的掩模介質和先進的成像技術（如MOEM（微光機電機械）和MAEM（微光對齊機電機械）實現高產量的生產。掩模對齊器允許對掩模和基板進行高度精確的對齊，並且可以調整到幾納米以下的分辨率。該資產的光致抗蝕劑單元具有用於光照射的主動HeNe激光器，可實現高達200 nm的高分辨率光刻，並在納米尺度上提供卓越的可靠性和可重復性。該裝置可加工多種光刻膠，如晶片上的幹膜、用於快速顯影的化學和熱敏劑，以及用於與CTO（陶瓷到金屬）密封相容的高溫蝕刻劑。ELS3604FA光刻模型集成了一個高性能光刻工作站、一個精確的掩模對準器和一個可靠的光刻單元在一個完整的單元中-為光電器件的制造提供了一個非常有能力和成本效益的解決方案。ELS TECHNOLOGY憑借其高分辨率的成像、卓越的可靠性和可重復性以及多用途的抗性處理能力,ELS3604FA為用戶提供了全面的生產解決方案。