二手 ELS TECHNOLOGY ELS3604FA #9156774 待售

ELS TECHNOLOGY ELS3604FA光刻設備是用於光刻工藝的最先進的系統。該裝置適用於細線IC器件制造、小面積大面積金屬化和鈍化工藝等多種應用。本機具有四個光學通道和四個獨立的控制系統，可以獨立控制曝光功率、曝光時間和聚焦位置等曝光參數。該工具還具有4x4激光級、4通道曝光頭和垂直集成成像資產。ELS3604FA具有完整的高清分辨率和高達1500倍的各種放大倍數。它可以達到高達1微米的曝光分辨率和長達30分鐘的曝光時間。它還有兩個「M1」和「M2」激光源，波長分別為532nm和405nm，可以在加法和減法曝光模式下運行。該模型還采用了液基光敏塗層設備，因此塗層可以量身定制，以適應各種不同的基板和應用。ELS TECHNOLOGY ELS3604FA具有很高的準確性和可重復性。它的機動化階段和自動化系統確保了可重復和準確的結果,從而實現了更高效的吞吐量和質量控制。此外,其內置的視覺單元可確保快速準確地進行對齊和臨界維度檢查,從而提高工作效率。該機還具有幾個高級功能，如能夠產生連續的曝光場和為更大的底物重叠的多個曝光場，增加焦點深度，以及可以提供精確控制曝光模式的「分子光掩模」功能。總之，ELS3604FA光刻工具是一種先進的、最先進的資產，適用於許多光刻工藝。它具有自動化和精確的功能,可實現高效和準確的處理,確保可重復和高質量的結果。