二手 ENTEGRIS FOUP #9392095 待售

ENTEGRIS FOUP是一種用於高分辨率集成電路（IC）制造的先進光阻設備。該系統是一種多功能工具,用於管理、跟蹤和檢查制造過程的前端。FOUP單元設計為光刻應用的通用解決方案,允許客戶管理用於光刻的設備和工藝。ENTEGRIS FOUP機具有幾個優化光刻工藝的功能，包括先進的端口技術設計和汙染控制。它的端口設計允許用戶在工具和機器之間輕松傳輸晶片，並提供高速軌道控制，在區域之間精確移動晶片。這種設計還可以實現先進的汙染控制,確保始終清潔晶片。FOUP工具的所有組件都是專門為光刻膠應用而設計的。資產包括一個高度可定制的對接盒式磁帶、幾個運輸和裝載導軌以及晶片托盤。對接卡帶和傳輸模式高度模塊化，使用戶可以輕松地將新工具整合到他們的整體過程中。晶片托盤提供了一個封閉的環境，特別適合光刻應用。ENTEGRIS FOUP設備還包括一個功能強大的晶圓管理軟件，為用戶提供對其光刻系統的完全控制。此軟件允許用戶跟蹤和管理晶片負載,將任務分配給特定的工具,以及自動化工具之間的傳輸移動。此外，該軟件還提供晶圓檢測的高級工具，如故障分析和光刻膠層的精確測量。FOUP單元是滿足當前和未來光刻需求的可靠工具。它具有強大的設計、精確的控制和高級管理工具,以確保產品的質量始終如一。通過使用機器的端口設計、汙染控制功能和晶圓管理軟件,客戶可以確保其光刻膠應用程序盡可能高效地運行。