二手 ESA SRD-3000 #9285370 待售
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ESA SRD-3000光刻設備是用於制造現代電子設備的先進光刻系統.具體來說,這一單元使用了一種稱為光刻膠的阻光材料,它由聚合物基體和光敏化學物質組成,用來生產電路印刷所需的極薄的金屬膜層。使用自旋塗層工藝將光致抗蝕劑材料應用於基板。這個過程涉及一個自旋塗層,這是一個自動化的機器,當以恒定的速度旋轉時,用於在基板上均勻塗層。自旋塗層將作為液體聚合物和感光化學物質溶液的光致抗蝕劑應用於基材。然後,材料在幹燥時慢慢變硬.一旦使用了光致抗蝕劑,基板就會被暴露在一種光的圖樣上(這是一個稱為成像的過程),以激活光致抗蝕劑內的感光化學物質。成像步驟由一臺激光成像機管理,該成像機與SRD-3000工具結合在一起。此資產使用激光器將圖像精確投影到光刻膠上。光照的強度和持續時間將決定光致抗蝕劑的哪些部分將被硬化,哪些部分保持可溶性。最後,剩下的光致抗蝕劑(未暴露於光的部分)再被沖走,露出基板上的金屬線圖案。剩余的光致抗蝕劑層充當絕緣層,在進一步的處理步驟(如蝕刻、電鍍和播放磁帶附著)中保護下面的電路和其下的金屬層。總之,ESA SRD-3000光刻膠模型是一種高度先進的光刻設備,它允許在基板上創建薄金屬線,從而能夠生產高質量的現代電子產品。該系統利用激光器將光圖樣精確投射到光刻膠上,然後激活光敏化學物質使光刻膠的特定區域變硬。剩余的光致抗蝕劑被沖走後,金屬線條的圖樣仍然清晰可見,可用於進一步的生產過程。
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