二手 EVATEC Solaris S380 #9360695 待售

EVATEC Solaris S380是一種先進的光刻系統,采用光刻技術進行納米光學.它是用於研究和開發的高分辨率成像工作站,或專註於最新、最苛刻的技術的生產。它結合了曝光工具、高精度步進電機、三軸工作站、檢驗站和一系列軟件功能，在晶圓或基板上創建和復制特征。Solaris S380能夠暴露一系列的光致抗蝕劑，從傳統的正負抗蝕劑到先進的特殊應用。對於直接寫入應用程序,它的不同曝光時間小於1秒鐘,對於完整映像曝光,它的曝光時間不超過60秒。因此，它適用於廣泛的光子應用，如光電、光子器件、光刻電路板等。EVATEC Solaris S380的核心是其高性能的數字光處理器。它每秒處理多達8M個像素，對感光材料具有非常高精度的數字圖像控制。與普通的數字光處理（DLP）系統相比,它的分辨率高達十倍,因此在同一視場中可以進行更詳細的陣列設計。此外,即使在極低的曝光水平下,它也具有可靠的對齊功能,因此每次都可以精確地制作圖樣。高精度步進電動機能夠快速、精確地登記晶片的顆粒和特征對準。它還具有高性能掃描機構，以平滑無聲的動作移動曝光頭，同時保持高精度和重復性。該系統由易於使用的用戶界面控制，以幫助操作員獲得一致的完美結果。它有多種穿孔工具來確定理想暴露的參數。高級軟件功能可用於分析抗蝕劑參數。總體而言,Solaris S380是一個可靠可靠的光刻系統,為研究人員和制造商提供高效、高精度的成像解決方案。它能夠產生最復雜和詳細的3D模式，從而使其成為研究光子學、光電子學和其他領域的生產任務的理想工具。