二手 EVATEC Solaris S380 #9390765 待售

EVATEC Solaris S380是一種先進的光刻塗層設備,專為光刻材料的精密控制和精密沈積而設計。該S380結合了高可用性、低擁有成本和出色的控制功能。S380系統基於模塊化設計,由具有可選外圍設備模塊的基本單元組成,允許用戶配置單元以滿足其精確要求。S380機器能夠沈積多達五層的光敏材料，每一層都有獨立的控制和工藝條件。該工具提供了多種沈積技術選擇，包括旋轉塗層、噴塗塗層和氣動剪切塗層。該S380是為可重復性而設計的，能夠保證在多種基板和多層堆棧上的光刻膠特性的重復性。該S380具有多項標準功能,包括符合人體工程學的觸摸屏用戶界面、低維護電子設備、高級工藝自動化和自動基板尺寸檢測。創新的「智能」控制資產可確保一致的性能,而與工藝條件或基材的變化無關。故障診斷和預後確保最大正常運行時間和低擁有成本。該S380還提供了一系列選項,以允許集成到其他生產系統或完成閉環過程控制。可以選擇遠程通信系統、零件跟蹤、機器視覺、激光幹涉儀和噴霧模式分析,以便對生產和工藝能力進行卓越的監控。總之，Solaris S380是一種先進可靠的光刻塗層模型，為精確的沈積應用提供了卓越的測量和控制能力。設備具有多種功能,包括過程自動化、性能優化、可升級系統、遠程監控和自動基板尺寸檢測。有了這些特性，用戶無論工藝條件或基板的變化如何，都可以輕松地處理可重復的光刻膠層，使其成為一個極具成本效益和可靠性的系統。