二手 EVG / EV GROUP 101 #293761358 待售

EVG/EV GROUP 101是一種先進的光敏處理設備，設計用於精確地在光刻光柵上形成圖樣。該工具主要用於半導體行業，結合了高端機械和光學元件，以確保用於半導體生產的優質標線。EVG 101使用先進的光學成像技術來沈積光敏材料，即光敏材料。光致抗蝕劑用於在晶片或標線上創建圖樣，從而能夠制造半導體、LED和OLED器件。該工具的可選功能使其能夠精確減少分辨率高達125 nm或更高的標線圖案或圖像。該系統有一個用於精確圖樣放置和測量的預對齊器，使其能夠實現統一且可重復的標線圖樣。此外,高級控制單元減少了設置時間,並自動處理了與光刻膠沈積有關的問題,從而使整個過程更快、更可靠。該工具采用高精度X-Y級結構，可確保光刻膠的精確放置。機動化的Z軸提供了標線的精確運動,確保了關鍵陣列處理過程的精度。機器還包括一個軟件套件，允許用戶自定義各種參數，如晶圓大小、曝光次數、分辨率、曝光長度和強度。它還具有自動聚焦特性，速率高達5納米，提高了使用該工具處理的轉速的精度。該工具使用的材料種類繁多，如光致抗蝕劑、正負抗蝕劑和高分辨率塗料。它設計用於處理各種可以是平坦或彎曲的基板，並與各種公認和標準的標線一起工作。總體而言，EV GROUP 101是產生精確度和重復性較高的錯綜復雜的標線圖案的理想解決方案。其先進的光學成像技術確保了光刻膠的精確沈積，而其先進的軟件則使用戶能夠定制參數和定制標線。憑借其強大的設計和靈活的平臺，該工具滿足了半導體行業超越同行的需求。