二手 EVG / EV GROUP 101 #293823918 待售

EVG/EV GROUP 101是一種專業的光刻設備,可在集成電路（IC）制造和光學存儲光盤（OSD）等廣泛的應用中實現精確、高精度的光刻處理。光致抗蝕劑系統在光刻中用於將圖案從遮罩或標線轉移到基板或工件上。這通常是在薄膜沈積、物理氣相沈積、光學光刻和離子束光刻中完成的。EVG 101光致抗蝕劑系統的特點是集成了一個快速、易於處理的開發單元，以及一個最多有四個葉片的光學機器。它具有用於快速圖像傳輸的雙腔曝光工具；為方便基板進入而設計的開放式底板；以及低振動真空卡盤、水平和垂直對準、高精度滑塊等先進元件。此外,資產還提供多種功能,旨在最大程度地提高用戶的工作效率。EV GROUP 101光刻膠模型高度自動化，並配有一系列內置的軟件工具，用於簡單高效的作業管理。該設備還支持多種光刻膠圖案，包括子圖案和縫制。其集成的清洗系統有助於抗蝕劑的處理，而其高速基板轉移單元則使基板的快速裝卸能夠快速周轉。這樣可確保作業設置的最大效率。該機還包括一個模塊化的顆粒漏鬥工具，以盡量減少顆粒汙染。這有助於保護細膩的抗蝕劑陣列在處理過程中免受損壞,還有助於最大限度地提高產量並最大程度地減少停機時間。此外,該資產還提供內置的觸摸屏診斷程序,可快速輕松地進行故障排除。101型光刻膠具有長期、高產量的性能,是專業IC制造和OSD產品制造的理想選擇。