二手 EVG / EV GROUP 105 #9197310 待售

EVG/EV GROUP 105是一種為工業用途而設計的光阻設備。它是一個半自動化系統，利用先進的光學技術和材料科學，為先進的光刻應用提供可靠和高度先進的光刻工具。該單元常用於半導體工業中，用於抗加工、基板掩蔽和圖樣化。EVG 105利用最先進的照相面罩，創造出精確精確的光刻圖案。利用線性二極管陣列和優化的光投影角，大大提高了圖樣質量。此外,該機器能夠在單個過程中對多層進行陣列設計,從而大大減少了處理時間和成本。EV GROUP 105采用兩板工具,可靈活可靠地處理各種抗蝕劑。頂板是半透明的，允許一個圖案從面膜精確轉移到抗蝕膜。然後將基板放置在底板上，並施加壓力以確保均勻分布和精確的圖樣傳遞。這項資產還有一個外部4倍顯微鏡照相機，能夠在曝光過程中提高對準精度。該型號具有很高的可配置性，並具有廣泛的軟件選項，以適應各種要求。光學打印功能支持從15 nm線寬到至少0.25 um特征尺寸的各種薄膜厚度。設備還與各大供應商的多種抗性材料兼容。集成、用戶友好的GUI可實現簡單直觀的操作。105旨在提高生產吞吐量和質量,同時降低工藝成本。該系統具有高可重復性、準確性和吞吐量,非常適合高產量的行業。該設備還考慮到維護和可維護性,設計為易於維修,以防止停機。總體而言，EVG/EV GROUP 105是一款可靠、先進的光刻機。它結合了創新的光學和材料科學技術，以方便和高效的光刻模式與無與倫比的重復性和吞吐量。該工具旨在滿足最高的生產量和質量要求,並為光刻制圖提供可靠的解決方案。