二手 EVG / EV GROUP 120 #293590417 待售

EVG/EV GROUP 120是一種設計用於納米光刻和晶圓加工的光刻設備。它使用光致抗蝕劑工藝在晶圓表面形成納米級圖案。該系統采用低維護、低功耗、高效率的抗塗層晶片。集成過程控制單元和成像機提供高分辨率成像、納米級定位和自動化處理。EVG 120以塗有光致抗蝕劑的晶片開始。光致抗蝕劑是一種對光敏感的材料，當暴露於特定波長和強度的光時，光致抗蝕劑會硬化。通過步進重復的光致抗蝕劑過程，晶片表面隨著光致抗蝕劑的硬化而形成圖樣。該過程由控制激光源曝光的過程控制工具控制，從而在晶圓上創建所需的圖樣。集成成像資產采用高分辨率光學顯微鏡和先進成像技術，如掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡，對晶片進行缺陷檢測，確保晶片經過精確處理。EV GROUP 120還具有自動對準和處理模型,可實現圖樣化光刻膠工藝的精確和可重復性能。自動化設備還減少了光刻膠處理過程中出現人為錯誤的風險，允許在最終結果變化最小的情況下進行一致的處理。120還包括一個創新的安全系統,它使用傳感器和硬件設備的組合來監視環境,並在任何處理條件超出指定參數時向操作員發出警報。這有助於降低機器和人員的潛在風險。最後，EVG/EV GROUP 120是一種設計用於納米光刻和晶圓加工的光刻光刻裝置。它使用光致抗蝕劑工藝在晶圓表面形成納米級圖案。集成的過程控制機和成像工具提供高分辨率成像、納米級定位和自動化處理。資產還具有自動對齊和處理模式以及有助於最大限度減少與流程相關的任何潛在風險的創新安全設備。