二手 EVG / EV GROUP 120 #293595254 待售

EVG/EV GROUP 120光刻設備是一種模塊化的交鑰匙光刻工具，為先進的納米制造應用提供先進的精密功率。該工具具有一個場可更換的高真空蒸發器單元，最多有12個獨立的基板和最多兩個平行的光學元件。其模塊化功能可實現高精度處理和強大的陣列設計功能。EVG 120系統使用先進的光學和物理元件，提供了廣泛的光刻選項，包括正負光抗蝕劑顯影劑和高分辨率光掩模。它允許使用多種面膜材料和基材，包括亞微米級光學面膜和包括矽、玻璃、藍寶石、石英、金屬和有機材料在內的一系列基材。該單元利用全並行處理，使基板快速旋轉和先進的陰影。該機器還提供高吞吐量優化,支持用戶定義的過程參數、自動定位和高級自動化。該工具還包括高級用戶定義的校準，允許精確和可重復的結果。這一資產還提供先進的控制能力和監測系統，包括數據記錄，從而能夠改進流程控制和質量保證。EV GROUP 120先進、用戶友好的圖形用戶界面提供了對設置、過程參數控制和實時監控的快速訪問。該模型還允許配方數據集的開發以及記憶中存儲和回憶配方的能力。設備的設計允許集成其他過程模塊，為系統帶來多種功能。120光刻裝置具有先進的廣泛光刻能力，是研發、生產和原型制作任務的理想解決方案。該機提供精確的工藝控制和高通量優化，非常適合先進的納米制造應用。