二手 EVG / EV GROUP 120 #293651179 待售
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EVG/EV GROUP 120是用於光刻工藝的光刻設備，用於廣泛的精密應用。光刻是一種利用光敏材料稱為光敏材料將圖樣蝕刻成基板（如矽片）的過程。EVG 120光刻系統將先進光刻設備的性能與自動化平臺的用戶友好性相結合，高效處理復雜的光刻工藝。EV GROUP 120光抗蝕劑單元包括一個中等分辨率成像平臺，支持1到200晶片的批量尺寸，最大晶片尺寸為200 mm。該機器利用先進的光學器件，包括集成的掩模對準器，將圖案暴露在直徑達6英寸的晶片上。采用亞微米分辨率級和0.2 μ m以下的覆蓋精度，實現了高精度晶圓對準。該工具能夠通過激光或紫外線輔助舞臺運動定位、制圖和透射束掃描。它能夠揭示非均勻摻雜區域、熱點叠加等先進技術和盡可能高的吞吐量。光刻膠資產具有用於精確計量和基板表面質量的自動光刻膠處理模塊。它在暴露前後控制抗蝕劑塗層晶片，以創建精確、均勻的抗蝕劑圖案。該模塊還提供了對光刻膠溫度、曝光深度和抵抗濃度的精確控制。該模型還包括一個單步開發者，它提供高穿透，精確的抗厚度控制，精確的橫向分辨率，和低變化。開發人員設計為與所有光刻膠兼容,具有動態清潔模塊,可執行端點檢測並去除不需要的抗蝕劑。集成的邊緣取珠設備可確保清潔的基板邊緣,並清除剩余的抗蝕劑。120的設計考慮到了低環境影響,提供了一個操作溫度範圍為20至55°C的緊湊高效的系統,從而減少了功耗和資源消耗。所有這些特性使得EVG/EV GROUP 120光刻裝置成為需要精確、高效和低成本制造的光刻工藝的理想選擇。
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