二手 EVG / EV GROUP 120 #9229820 待售

EVG/EV GROUP 120是一種光刻設備，用於創建微觀和納米級特性，用於制造集成電路和其他先進、高精度的應用。配備超高精度光學臺、高精度電動級和專利高質量分辨率成像技術。該系統使用平版印刷工藝來創建納米結構。光致抗蝕劑是一種光敏材料，在薄層中施加到基板上。光致抗蝕劑層暴露於光，這會引起化學反應，並允許通過選擇性蝕刻層的截面來創建圖樣。重復該過程,直到形成所需的模式。EVG 120具有微米精密正交電動級的模式對準。該單元允許基板與光學表進行極其精確和可重復的對齊，這對於精確的模式對齊是必不可少的。此外，它還擁有一臺獲得專利的成像機，該機可產生高達100納米的特性，每個區域的噪聲水平為≤0.1nm RMS。這允許用戶以非常低的缺陷率生成高度準確和詳細的圖像。該工具與多種光刻膠兼容，包括正音、負音和二進制抗蝕劑。適用於廣泛的應用，包括微電子、MEMS（微機電系統）、光電子和傳感器。EV GROUP 120是一種極為精確可靠的資產，適合生產多種納米結構。其先進的光學表、高精度的機動化級和超高精度成像模型能夠創建極低缺陷率的復雜特征。這種設備是生產集成電路或其他小型結構的任何組織的寶貴工具。