二手 EVG / EV GROUP 150 #293606734 待售

EVG/EV GROUP 150是半導體工業中用於在晶圓上沈積光敏層的光敏設備。它利用一種基於序列控制過程的專有技術，以非凡的均勻性和精確度創建復雜的抗性結構。光刻膠系統由晶片支架、控制模塊、照明模塊、光刻池和光刻膠模塊五個主要組件組成。晶片支架用於在施加光致抗蝕劑時固定基板。精密加工支架的設計是保持基板穩定，在這個過程中沒有打滑。控制模塊是單位的大腦。它控制整個光刻膠序列，並通過用戶界面（UI）進行編程。它監視抵抗參數和其他過程步驟,以保持一致的模式精度。照明模組是一種大功率光源，用於暴露基板上的光刻膠層。它集成到光刻機中，提供可編程、精確、均勻的光強度和波長範圍。Phototool是一種真空機械臂，用於在光刻過程中移動和控制晶片，以及在過程步驟之間移動晶片。光刻膠模組將光刻膠套用到基板上，是光刻膠工具的關鍵元件。光致抗蝕劑的精確、均勻的應用是過程中最關鍵的方面，通過控制模塊進行控制。EVG 150光抗蝕劑資產在半導體工業中被廣泛使用，以創造出精密而均勻的抗蝕劑結構，具有出色的圖樣精度、可重復性和附著力。該模型可產生具有精確特征尺寸控制和均勻性的復雜、復雜的光刻膠層。此外,設備還提供高精度、高效率和可重復性,從而提高產量和產品質量。