二手 EVG / EV GROUP 150 #293607039 待售
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EVG/EV GROUP 150是一款革命性的光阻設備,具有尖端的設計,為質量、便利和性價比設定了新的標準。它是一種無掩碼光刻系統,使用感光聚合物薄膜將要蝕刻的圖樣暴露在晶圓或基板上。EVG 150不是使用復雜的透鏡和對準器單元,而是使用專有的「曝光窗口幾何」(EVG)來創建聚焦的均勻光束,使光刻膠曝光以創建圖樣。這樣可以降低設置的復雜性,從而使用戶能夠節省時間和金錢。EV GROUP 150的設計考慮了廣泛的應用。它可用於在多種基板上曝光和開發光致抗蝕劑,包括有機材料、金屬和半導體。這臺機器極易使用,可以在任何實驗室快速安裝。它能夠產生25 nm以下的特征大小,並且其高分辨率確保了高度可靠和可重復的結果。150具有多種特性,使其成為光刻膠加工應用的理想選擇。與傳統系統相比,它的使用壽命長,設計可靠,運營成本低。它不需要昂貴的口罩,而且它的自動化操作和完整的PC控制使得它易於編程和使用。此外,它的設計還具有獨特的自我對齊功能,可幫助確保精確對齊,而無需手動幹預。此外,EVG/EV GROUP 150還有一個集成的通知工具,可在進程完成時向用戶發出警報,並提供實時狀態更新。此外,該資產能夠與各種設備接口,允許用戶連接到其他流程和數據資源。該模型可以在生產環境中使用,也可以作為單發獨立工具使用,使其成為滿足光刻膠加工要求的通用、經濟高效的解決方案。簡而言之,EVG 150提供了一個高效可靠的光敏處理平臺。其創新的設計、強大的性能、集成的功能以及較低的擁有成本,使其成為各種技能級別用戶的可靠且經濟高效的解決方案。
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