二手 EVG / EV GROUP 150 #293615061 待售

EVG/EV GROUP 150光抗蝕劑設備是一種最先進的光致抗蝕劑開發系統，允許光致抗蝕劑圖樣快速轉移到基板上。它專為商業和半導體應用而設計，並提供精確的抗蝕性塗層和圖案設計所需的高級功能。EVG 150單元結合了塗膜器的柔韌性和步進器的精確度。它具有很高的適應性，因為它能夠處理各種抗蝕性厚度、圖樣間距和基板。該機具有一系列處理能力，包括塗層、內存放置、曝光、開發以及其他後處理步驟。光致抗蝕劑工具配備了獨特的Web傳輸機制和皮帶驅動的計量，使其能夠快速、均勻地在大面積上創建高質量、均勻的抗蝕劑塗層。資產由三個部分組成：烤箱、轉移室和暴露模型.烤箱用於預熱基板，以方便抗塗層和圖案。傳輸室包含Web傳輸機制，它在基板上增加了一層抗蝕劑。曝光設備將UV光聚焦到抗蝕劑圖樣上，隨後開發這種圖樣以創建所需的圖像。該系統具有許多功能，旨在確保高精度的結果。例如，XY級采用高分辨率編碼器設計，允許在基板上精確放置抗蝕劑圖案。軟件利用強大的算法和自主模式放置，可以補償公差和過程變化。此外，該裝置還配備了專利模式叠加驗證機，利用成像技術評估模式保真度。EV GROUP 150光刻工具是在基板上創建精細圖樣的強大工具。它可靠易用,提供了創建高質量結果所需的準確性、靈活性和高級功能。