二手 EVG / EV GROUP 150 #293617649 待售
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EVG/EV GROUP 150是為光刻應用而設計的光刻設備。這種光刻膠系統設計用於多個行業，包括半導體、電信和醫療設備制造。該單元由處理器模塊和基板處理模塊兩個模塊組成。處理器模塊旨在提供光刻材料所需的工藝步驟。它包含一個可配置的集成攝像頭,可用於工具對齊和記錄過程的結果或圖像。基板加工模塊設計用於固定、運輸和處理單個基板,允許統一且可重復的工藝步驟。機器的處理器模塊能夠控制多個過程步驟,如預暴露和後暴露的抗蝕劑、顯影劑、清潔和軟烘烤過程。此模塊還提供具有自動對焦、自動對準和自動曝光功能的集成視覺工具。該資產還允許對抗蝕劑輪廓進行原位評估，並優化抗蝕劑輪廓和成像參數。基板處理模塊設計用於並行處理多個基板和過程。它可以充當內聯或批處理過程,具體取決於應用程序。它提供了一系列的基材，如晶片、面板或其他大面積結構，過程的各個部分可以單獨調整或監控。它還具有一個彈性傳感器，用於測試抗蝕劑輪廓和檢測機械缺陷。該型號還提供了廣泛的安全措施，如用於紫外線防護的安全屏蔽，以及帶有多個傳感器和警報的可編程安全例程。此外,它還包含一個診斷例程和一個IV曲線跟蹤設備以及一個開放平臺,允許集成用戶定義的表征例程。總之，EVG 150光刻系統提供了使其適合用於各種工業光刻應用的功能。它是一個可配置和用戶友好的光刻裝置，具有一系列的過程控制能力和安全措施。該機器可用於包括半導體、電信和醫療設備制造在內的廣泛應用。
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