二手 EVG / EV GROUP 150 #293759601 待售
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單擊可縮放
ID: 293759601
晶圓大小: 8"
優質的: 2005
Coater / Developer system, 8"
Cassette-to-cassette handling
Cassette station with ergo load mounts
(3) Spin modules:
Bake
Chill
Vapor prime
No manual
2005 vintage.
EVG/EV GROUP 150是一種光阻設備,在單件設備中具有自動口罩對準、曝光和開發後處理功能。它是一種專業工具，用於處理各種應用中的各種不同的光敏材料。該系統有一個內置的光學對準和曝光單元，由多模源、激光對準機和強度控制器組成。該工具還提供了廣泛的不同的後開發功能，包括自旋蝕刻、添加劑加工和條帶加工。EVG 150設計用於處理多種不同的光敏材料，包括玻璃自旋（SOG）和氟聚合物光敏材料。它旨在實現諸如添加劑蝕刻、成型盲法、差分蝕刻和主基板制造等工藝。該資產能夠蝕刻各種厚度,最大蝕刻深度可達1000 nm。EV GROUP 150具有自動遮罩對準模型,在曝光光刻層時提供了更高的準確性和可重復性。面罩安裝在精確的機械對準臺上,範圍可達50 μ m。該設備還具有數字圖像采集系統，用於模式識別，確保精確的模式對齊。該單元還提供一系列光刻材料的曝光能力。它具有一系列光源，包括高功率405納米激光器、工業Ar-ion激光器和紫外線（UV）激光器。它配備了從35 s到35 s μ曝光持續時間，使得各種曝光時間和功率水平都能適應不同的光刻材料。150還提供自動後處理功能。機器配備了自旋處理器，允許在一個步驟中蝕刻各種厚度。它還能夠進行添加劑加工，從而能夠應用蒸發塗層等特定的材料層。此外，該工具可以提供條帶處理，其中光致抗蝕劑被精確地從暴露的區域去除。EVG/EV GROUP 150是各種光刻膠處理應用的理想選擇。它能夠實現準確、可重復和可靠的結果，並可用於處理任何光敏材料。該資產還得益於大量後處理功能,使其成為高級研發的理想解決方案。
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